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原子力显微镜

2017-06-30  点击:[]

设备型号: Dimension Edge

设备参数

1.   扫描样品尺寸 150mm × 150mm × 15mm XYZ);

2.   Z方向扫描范围:10μm(典型值), 9.5μm(最小值);

3. 纵向噪音水平: <50pm RMS值(在合适的环境,典型的成像带宽条件下(最高可达625Hz));

4. XY方向闭环噪音水平: <0.5nm RMS值(在典型的成像带宽条件下(最高可达625Hz)); 

5. Z方向闭环噪音水平: <0.2nm RMS值(在典型的成像带宽条件下(最高可达625Hz));

6. 样品尺寸和固定方式: 150mm直径,真空吸附;

7. 具有5百万像素数字摄像头,180µm~1465µm可视区域,数字化缩放,马达驱动聚焦,提供快速样品导航和高效点测量;

8. 配备SPM专用防震台;

9. 测试模式:接触模式,轻敲模式,抬起模式,暗抬起模式,横向力/摩擦力显微镜,磁力显微镜,静电力显微镜,扫描隧道显微镜,导电原子力显微镜,表面电势显微镜,纳米操纵/刻蚀,纳米压痕。

主要功能:原子力显微镜可在大气或液体环境下,对各种材料样品进行纳米区域的物理性质包括形貌进行探测,或者直接进行纳米操纵。通过双频的方法,能够为任何静电电势成像的应用提供理想解决方案。其广泛应用于半导体材料、纳米功能材料、无机非金属材料、金属材料、有机固体、聚合物以及生物大分子等材料的测试领域中。样品的载体选择包括云母片、玻璃片、石墨、抛光硅片、二氧化硅和某些生物膜等。

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